Seminario Institucional: Micro-dispositivos de sensado y almacenamiento de energía a través de grabado químico de semiconductores
ICAT , MexicoResumen
El grabado es un proceso común en el desarrollo de dispositivos microelectrónicos, que consiste en devastar de forma controlada para esculpir en tamaños micro y nanométricos. De esta forma, uno se refiere a estos procesos como “micromaquinado”. El grabado en microelectrónica es comúnmente químico o iónico, permitiendo obtener perfiles con diferentes niveles de anisotropía. Alternativamente también se puede grabar electroquímicamente o catalizando con metales, pudiendo variar el grabado considerando parámetros como densidad de corriente, la concentración y tipo de electrolito, la aplicación de luz, el tipo y concentración de dopado del semiconductor a grabar, y la temperatura. En el Laboratorio de Energía del Instituto de Física, BUAP, se trabaja en modificar técnicas de grabado. De esta forma se han logrado fabricar estructuras varias, como micro-pilares, nano-hilos, micro-conos, poros rectos o elicoidales. Así se han desarrollado dispositivos biomédicos, electrónicos, y de almacenamiento de energía. En la plática se describirán algunas estructuras logradas, particularmente para su uso en baterías de ión litio y dispositivos microelectrónicos. Se discutirán también perspectivas de desarrollo.